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產(chǎn)品分類
更新時(shí)間：2024-08-08 
瀏覽次數(shù)：577日本takano 晶圓視覺檢測(cè)設(shè)備Vi系列
我們高速、高精度地檢查晶圓布線圖案、裂紋、異物污染等產(chǎn)品外觀。
●產(chǎn)品信息
Vi-4207R、C Vi-4307M，C Vi-5301M
晶圓尺寸 ～200毫米 ～300毫米 ～300毫米
處理 機(jī)器人 機(jī)器人 機(jī)器人
裝載機(jī) 打開盒式磁帶 開放式盒式磁帶、FOUP、FOSB
缺陷尺寸(μm) 1.2/ 2.4/5.0（物鏡10x/5x/2.5x）
尺寸 W2280xD1140xH2060 W2280xD1140xH2060 寬2600x深1440x高1790
重量 1650公斤 1700公斤 2800公斤
應(yīng)用 CMOS圖像傳感器、功率器件、RF濾波器、MEMS、玻璃、TAIKO晶圓
●區(qū)域分類根據(jù)器件圖案的特征實(shí)現(xiàn)多種檢測(cè)靈敏度和容差。
●每個(gè)區(qū)域都可以有檢查參數(shù)。
●灰度檢測(cè)無法檢測(cè)到的缺陷可以通過彩色檢測(cè)來檢測(cè)。
●各種光的組合使看不見的缺陷變得可見。
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