型式	PPS-8500
板材尺寸	510 x 515mm(Max)
解像力	2.0 µmL/S(感光材厚2.0 µm)
NA（開口數）	0.16、0.1可變
縮小比	1:1
Field尺寸	52mm × 33mm
光刻波長	ghi-Line gh-line i-line(與菜單連動)
視野尺寸	6inch
重復對位精度	≦1.0 µm(|Ave|+3σ)
裝置尺寸／重量	（W）3,000×（D）4,800×（H）2,500mm / 11,000kg